新闻动态 / Industry dynamic

实验室设施方面的考虑

发布日期 :2016/3/7 10:55:56

本节所含信息是关于影响洁净室和洁净生产设施主要结构部件的静电事项,其中包括建筑材料,空气处理和通风系统,地板,设施接地系统,加湿系统和物料输送系统。其目的是使设计出的洁净室、洁净厂房和环境能够控制静电荷的产生以及ESD、ESA问题。

1.1 建筑

   静电控制事项适用于洁净环境的墙板、地板、窗户和天花板构件(包括照明装置),以及出入口、前厅、更衣区和风淋室等。洁净环境的建筑材料应尽可能是导静电或者静电耗散的,而又不降低在结构,污染控制或工艺方面的要求。为它们所设置的接地路径在建造过程中应予以验证,并在随后进行定期检查。应注意连接墙板、地板和天花板构件的紧固方法,以确保维持可靠的接地路径。建筑材料静电控制性测量方法。

   一个隔开的导体对产品或设备的危害往往比绝缘体更大,因为它能够单次静电放电事件转移其所有静电荷。避免使用其上可能有绝缘的涂层或涂料的导电材料。涂层可能会带电,并在导体上感应电荷。如涂层薄或受损,其结果可能是对附近导电的或接地的表面的静电放电事件。

   洁净室建造材料必须满足设施对污染控制的所有要求,规定材料的导电或静电耗散范围,可能会限制对材料的选择。为保护敏感构件免于ESD,可能要在建筑应用中使用静电耗散材料。而首选导电材料还有其他原因。

1.2 空气净化系统

   洁净环境的空气系统一般包括一个外部空气入口、预过滤系统、适当的供暖、通风和空调设备。有些情况下,内部循坏空气与经过调节的空气混合后,再输送到洁净环境。分级的洁净室通常使用顶棚安装的高效或超高效空气过滤器组向洁净室送风。由于空气可能用于静电控制。

   已知湿度对摩擦起电和静电耗散两者均有效应。通常情况下,湿度越高,静电产生得越少,消散得越快。为此,可人为改变洁净生产区空气湿度。电力系统也可安装在天花板过滤系统下方,对洁净空气流进行电离处理。这些电离的空气则可用来中和产品或工艺生产设备中绝缘体或隔开的导体上的静电。

1.3 通风系统

   洁净室或洁净产生设施的空气输送系统可包括各种类型的通风设备。这些通风设备通常是去除加工设备排出的废气。如有涤气装置防止化学污染物重新循环进入洁净室或洁净生产环境。这种方法,可去除化学污染物。风管材料所需的化学品耐受性和耐热性,决定了对绝缘体的使用。如陶瓷、玻璃、特氟龙和其他塑料。带电电介质表面传播的电场可吸引污染物并使附近隔离导体感应带电。这两种静电效应均可危害产品和工艺设备。电离气流、适当的湿度以及在电场中将产品隔离均可使与静电有关的问题降低至最低。

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