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静电对电子行业的危害

发布日期 :2016/3/7 13:10:55

静电放电可以改变半导体器件的电性能,使它降级或损坏。静电放电也会扰乱钉子设备的正常操作,引起设备故障或损坏。静电荷还会在无尘室引起麻烦。带电体表面能够吸引污染物,当硅晶体或器件的电路部分沾染了灰尘,就会造成电路中不可预料的缺陷并影响其产品质量。

静电放电对电子行业的危害形式

要点提示:吸附尘埃坏芯片,电容击穿透绝缘,加速老化漏电流,模式失效有几种。

静电对电子工业危害最大的主要有下列几种方式。

1.吸附尘埃

静电吸附尘埃对微电子生产业影响最大,在现代大规模集成电路生产中,芯片的线宽已达到0.1μm。如果其产生静电,则对几微米大几十微米的岑艾吸附作用明显。一颗直径几微米的尘埃吸附在芯片上,即可造成几十根芯线之间的绝缘强度降低,使芯片漏电流增大,使用寿命缩短,甚至造成短路,使芯片损坏。酸、碱微离子吸附在芯片上,还可以造成芯片腐蚀。

2.静电场感应及放电

导电物体置于静电场中感应带带,当感应到某一个限定值时也可发生静电放电。当元器件置于静电场中发生感应带电时,在器件或芯片氧化膜两端及结构金属突出部位因尖端效应可感应出较强电场。因葛丁对地电位不同,当电场强度超过某结构点绝缘强度的限值时,就能导致介质之间或结构点之间击穿(或软击穿),使元器件失效或品质降低。除直接放电外,还可通过分布电容、电感耦合放电。

3.静电放电及生产的宽带电磁脉冲效应

静电放电可使集成电路芯片介质击穿、芯线熔断、漏电流增大加速老化、电性能参数改变等。静电放电对芯片损坏具有潜在和缓慢的失效性,这种情况危害性更大。另外,静电放电可产生从低频到几兆赫兹的宽频带干扰,对电子仪器、信息化系统、医疗监护系统等产生静定噪声和电磁干扰,能量较大的放电产生的电磁脉冲可造成飞行器、通信系统联络中断,使其不能正常工作台,甚至造成电子设备损坏。

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